CCD技术在非接触检测中的应用

摘要

CCD电荷耦合器件是20世纪70年代初发展起来的新型半导体集成光电器件。日前它已成为集光学、电子学、精密机械与计算机技术为一体的综合性技术。它被广泛应用于各种加工件的在线检测和高精度、高速度的非接触检测技术领域。CCD像传感器、光学系统、计算机数据采集和处理系统构成的CCD光电尺寸检测仪器的使用范围和优越性,是现有机械式、光学式和电磁式测量仪器都无法比拟的。