TFT玻璃基板中铂铑缺陷的分析与判定

摘要

介绍了用显微镜分析法和场发射扫描电子显微镜分析法,分析TFT玻璃基板中铂铑缺陷的特征形貌,分析判定该缺陷的物质结构以及类型,为铂铑缺陷判断提供参考和判定依据,积累玻璃缺陷的分析经验。