TFT-LCD玻璃基板面部缺陷及其检测方案改进研究

摘要

玻璃基板是TFT-LCD面板的重要组成部分，在TFT-LCD面板中分别作为彩色滤光片基板和TFT阵列基板使用。玻璃基板是由SiO2、Al2O3、B2O3及Ba2O等原料经熔解变为玻璃膏后，再由溢流熔融法成型，经过一系列后加工后，最终成为玻璃基板成品。玻璃基板制造流程比较复杂，而且目前在国内起步较晚，因此在国内有着很大的发展前景，对玻璃基板的研究显得非常重要。
　　随着目前平板显示电器的需求量不断增大，平板市场呈现繁荣景象，因此对上游玻璃基板的需求量也非常巨大，但是面板产品由于其特殊的显示特性，对玻璃基板的质量有着很高的要求，玻璃基板存在缺陷会导致面板显示不良，从而降低了企业的效益以及浪费了大量的资源。因此有必要对玻璃基板缺陷做深入的研究和分析，虽然国内外对玻璃基板缺陷形成的机理及其检测方法都进行了研究，但可检索的文献报道并不多，且现有的缺陷检测设备的检出效率仍有许多需要改进之处。本论文主要从两方面对玻璃基板缺陷进行研究，一方面是研究如何降低玻璃基板面部缺陷的数量，另一方面是改进见检查机对缺陷的检出效率，主要内容如下：
　　第一章主要介绍研究玻璃基板的背景和研究意义。第二章简单介绍上游TFT-LCD面板以及玻璃基板的基础知识，侧面说明基板在面板中的位置及作用，以及简要介绍玻璃基板的品质要求、常见缺陷以及成型方法。第三章重点阐述玻璃基板的制造流程，包括配料溶解、铂金通道、溢流成型、切割、研磨、清洗、检验、包装等阶段。第四章分析玻璃基板面部缺陷的原理以及提出相对应的解决对策。
　　第五章主要通过分析面检检查机的原理，提出一些改进方案来提升检查机的检出效率。提出可以通过减小无校区面积增大检测面积，从而检测出更多缺陷；研究不同的检测阈值、不同光源照度对检查机检出效率的影响，结果显示当检测阈值为7，背照光源照度为10000lx时，检查机的检出效率最好。且经反馈，检查效果很好，能够满足企业最优化要求。

目录

声明

第一章 绪论

1.1 研究背景和意义

1.2 本论文的主要内容

第二章 基础知识介绍

2.1 TFT-LCD基础知识

2.2 玻璃基板基础知识

第三章 玻璃基板的制造流程

3.1 配料工段

3.2 碎玻璃加工工段

3.3 熔解工段

3.4 成型工段

3.5 热加工工段

3.6 冷加工及包装仓储工段

第四章 玻璃基板面部缺陷形成机理及对策

4.1 内部PT缺陷

4.2 内部结石（Stone）缺陷

4.3 内部气泡（BL）缺陷

4.4 表面缺陷

第五章 检查机原理以及检查机改进对策

5.1 检包间工艺流程

5.2 检查机原理

5.3 检查机改进对策

第六章 总结

参考文献

硕士期间发表论文及参与课题

致谢