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激光切割石英摆片的若干问题研究

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@@ 一、石英摆片的结构及材料1.石英摆片的结构石英摆片(如图1所示)是一种典型的传感器用石英器件.由于石英摆片形状复杂、几何尺寸精度和表面质量要求较高,其加工质量直接影响使用性能.采用合适的加工方法和合理的工艺路线,是生产高质量摆片的关键问题.

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来源
《中国建材科技》 |2001年第6期|44-49|共6页
作者
周岩; 杨乐民; 张广玉; 杨贺见;
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作者单位

哈尔滨工业大学;

哈尔滨工业大学;

哈尔滨工业大学;

黑龙江省电信工程局;

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正文语种 chi
中图分类玻璃工业;
关键词
激光切割; 石英摆片; 石英玻璃;

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