铁电陶瓷薄膜红外热探测器阵列

摘要

铁电陶瓷薄膜红外热探测器是一种无致冷的红外探测器。由于它具有很高的灵敏度，是一种很有潜力的热成像器件。文章介绍铁电陶瓷材料的特性和阵列器件的研制状况。