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李晓雪; 黄玲程; 郝永芹;
长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室;
吉林长春130022;
北京雷生强式科技有限责任公司;
北京100015;
薄膜; 离子束辅助电子束镀膜; 钛酸镧(H4); 腔面膜; 折射率;
机译:电子束沉积,离子辅助沉积,反应性低压离子镀和双离子束溅射沉积的二氧化硅薄膜的抗激光损伤性
机译:通过电子束沉积,反应性低压离子镀和双离子束溅射沉积的氧化f薄膜的抗激光损伤性
机译:离子束辅助阴极电弧蒸镀对(Al,N)-DLC复合膜的组织和力学性能的选择性结合作用
机译:电子束沉积,离子镀,离子辅助沉积和双离子束溅射沉积二氧化硅薄膜IR和UV激光损伤电阻的对比研究
机译:研究工艺参数变化对离子束溅射Sc2O3和HfO2薄膜的材料性能和激光损伤性能的影响。
机译:离子束辅助电子束沉积TiN微电极—应用于神经元细胞培养基评估
机译:研究聚焦离子束和电子束纳米加工的物理化学基础,并特别关注潜在的纳米电子应用=研究聚焦电子束和离子束纳米加工的物理和化学基础,特别着重于纳米电子学中的可能应用
机译:继续开展高灵敏度X射线和电子束抗蚀剂工艺研究
机译:离子束电子束有一个离子束辅助电子束蒸发器制成的平板显示面板的制造工艺
机译:电子束蒸镀机的蒸镀源设备
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