集成光学中的电吸收波导探测器

摘要

本文综述近期国外研制成功的电吸收波导探测器（EAP）的原理,制备工艺,性能及其应用。由于Franz—Keldysh效应使得半导体的禁带边界发生漂移,因而电吸收波导探测器的探测度的响应波长超过了正常吸收的长波极限。若EAP探测器列阵的外加偏置电压按顺序由底到高,那么探测器列阵就能探测复用光束的多光谱讯号。这对于扩大光信息容量有着极其重要的意义。在设计时要着重考虑其波长的分辨率和信道间的串音问题。