GaAlAs/GaAs DH液相外延的几个问题（摘要）

摘要

圈线着提高液相外延过程的重复性、均匀性对外延工艺中的几个问题:降温速率、混源、陪片、外延系统等提出一些初浅的看法,在上述考虑的条件下已得到初步结果。所得外延片已制成室温连续DH激光器。在提高激光器性能和寿命上还需继续做工作。