超高频大功率晶体管光刻版图的设计

摘要

＜正＞ 超高频大功率晶体管是半导体器件的重要发展方向之一,它在微波通信、卫星、雷达、导航、电视等许多领域都有极重要的用途。它的主要电参数有频率特性（fT、KP、P0）和功率特性。除了在总体设计和工艺措施中来保证这些电参数外,关键就是光刻版了。下面就以400兆赫10～50瓦系列硅n-p-n平面型晶体管为实例,讨论超高频大功率晶体管的光刻版图结构、总体设计及具体的设计顺序。我们设计和制出的版还未经生产实践考验,肯定会存在不少问题,仅供参考。