关于提高大规模集成电路成品率的探讨

摘要

＜正＞成品率是衡量一种产品的生产水平和工艺技术水平的最重要标志,也是产品质量、稳定性及可靠性的重要标志,更是决定大规模集成电路试制和生产成败的关键,必须认真探讨。根据我们的实践经验,要提高双极大规模集成电路的成品率,必须有正确无误的设计、先进而完善的工艺、切实可行的实施手段、训练有素的职工队伍及科学有效的管理方法。现仅从工艺技术方面作粗浅探讨。