HSX-1红外扫描显微镜试制成功

摘要

＜正＞ 由上海技术物理所和上海元件五厂组成的红外线三结合小组,于77年12月14日试制成功我国第一台HSX-1红外扫描显微镜。 红外扫描显微镜是显示并测定小目标表面热分布的仪器,所以又称红外显微热像仪,它特别适用于测定各种半导体器件表面的热状态,对器件的设计鉴定、失效分析、可靠性检查提供一个新的手段,与其他方法相比,它具有下列特点: a.是被动式,非接触器式测试仪器,不会破坏被测器件表面。 b.具有高的空间分辨率,一般可做到小于100微米。 c.能适时显示出整个被测器件表面热分布的全貌,如果需要记录,可用照相办法永久保留其热图象。