硅光敏管光谱响应的合理结构设计

摘要

本文提出一种硅光敏晶体管光谱响应的合理结构设计,即深浅基区结构设计,浅基区保证对吸收系数大的短波长光的响应,深基区可以保证三极管的性能以及击穿电压的要求.同时,选用高阻单晶材料,提供足够大的势垒宽度,可以保证对长波长光的响应.因此,这种深浅基区结构是一种较好的宽光谱响应的光敏晶体管结构.