双吸除技术对提高LSI硅单晶性能的作用

周士仁; 叶以正; 陈德源; 王志加; 邵全法; 杨家德; 胡世忠

首页> 中文期刊> 《半导体技术》 >双吸除技术对提高LSI硅单晶性能的作用

双吸除技术对提高LSI硅单晶性能的作用

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

团队文献服务 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

通过离子探针分析,少子寿命监测和对诱生缺陷形成情况的观察分析证明,经过双吸除技术处理的晶片,在经受了器件制造工艺条件下的多次高温处理后,含杂量和二次缺陷密度普遍低于常规片,而少子寿命则高于未经处理的单晶片1个数量级以上.IC制作的初步实验结果证明,双吸除技术是可起到改善LSI所用硅单晶性能的良好作用的.

著录项

来源
《半导体技术》 |1984年第5期|12-18|共7页
作者
周士仁; 叶以正; 陈德源; 王志加; 邵全法; 杨家德; 胡世忠;
展开▼
作者单位

哈尔滨工业大学;

骊山微电子公司;

电子工业部44所;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 甲骨文新一代Exadata X4采用LSI最新闪存技术——Exadata采用最新LSI Nytro DLC技术可经济高效地扩展闪存容量从而最大限度地提高系统性能及价值 [J] . 陈洁 . 计算机与网络 . 2014 ,第2期
2. LSI SandForce新技术助超极本制造商提高性能 [J] . . 电信科学 . 2012 ,第8期
3. LSI Tarari技术助力HP提高企业级应用性能 [J] . . 电子与电脑 . 2009 ,第6期
4. LSI Tarari技术助力HP提高企业级应用性能 [J] . . 计算机与网络 . 2009 ,第9期
5. 一种提高双吸泵性能的设计方法 [J] . 曲鹏 . 内燃机与配件 . 2018 ,第19期
6. 行星齿轮差速器对提高卧式螺旋离心机性能的技术作用 [C] . 虞培清 ,王则胜 . 全国第四届行星齿轮传动学术年会 . 2002
7. 基于流场分析技术的双吸泵性能优化研究 [A] . 许骁 . 2014

双吸除技术对提高LSI硅单晶性能的作用

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅