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半导体工艺中的激光化学微加工技术

         

摘要

半导体工艺中的激光化学微加工技术,是国外近年来研究颇为活跃的领域,具有广泛的前景.本文对激光化学微加工技术应用于半导体工艺中的腐蚀、掺杂、化学汽相淀积及调整半导体器件电参数等方面的原理、特性及今后的应用前景作了综合评述.

著录项

  • 来源
    《半导体技术 》 |1984年第5期|45-4953|共5页
  • 作者

    宋登元;

  • 作者单位

    河北大学;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
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