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脉冲镀金及其在微波器件上的应用

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＜正＞脉冲电镀,是目前国内竞相研究和应用的一项新的电镀工艺,在国外一些国家的电子工业和贵金属电镀工艺中,使用已日趋普及,在研制微波器件和集成电路工艺中,不仅需要镀金的环节很多,而且对镀层性能有较高的要求.1981年,我们从解决直流电镀金层的应力较大的问题入手,开展了脉冲镀金的研究,实

著录项

来源
《半导体技术》 |1987年第6期|8-13|共6页
作者
何菊芬; 潘斤采;
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作者单位

电子工业部55所;

电子工业部55所;

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正文语种 chi
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