硅单晶电阻率不均匀度的测试误差分析

摘要

＜正＞硅单晶电阻率不均匀度是衡量硅材料质量的一个重要的参数,它对半导体器件生产的稳定性、重复性乃至器件的质量参数指标都有着明显的影响.随着半导体工业的发展,对硅单晶电阻率不均匀度的要求也越来越高.因此,国内外的半导体工作者为提高硅材料电阻率的