用激光辐照工艺制造肖特基势垒

摘要

用CWCO2激光器辐照Al-Si系统,制成了肖特基势垒。介绍了这些二极管的电特性,其反向击穿电压可与普通的P+-n结二极管相比较,并具有较大的势垒高度、较小的开启电压和好的整流特性。