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小束斑ESCA在匹兹堡会议上首次问世

         

摘要

<正> ESCA(用于化学分析的电子能谱)是研究半导体、催化剂、聚合物等物质表面的有力工具。在去年的匹兹堡会议上首次展出了两种类型的小面积ESCA。一种是由Kevex公司生产的SSX-100型,它使用一个Al阳极和一块石英晶体产生单色x线,再将x线聚焦,使束径在1mm至150μm可调。另一种是Pekin-Elmer公司的PHI 5400型,x射线大面积照射样品,然后选择不同孔径来改变光电子的收集面积,

著录项

  • 来源
    《半导体技术》 |1986年第3期|3-3|共1页
  • 作者

    华庆恒;

  • 作者单位
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类
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