正+正=负〈谈正胶负用〉

摘要

本文主要介绍利用两次正胶的复印技术,解决目前在超大规模集成电路研究过程中,补制图形≤3μm的负版制作技术问题,对正胶的开发应用找到了一个新的前景,即正胶不但作为正胶用,而且也能作为负胶使用,并保持了正胶的其它优良特性。