分辨率为0.25μm的激光扫描显微镜

摘要

＜正＞ 西德Carl Zeiss公司最近制成了分辩率为0.25μm的激光扫描显微镜。如果加以改进,分辩率还可能提高。激光扫描显微镜的原理与扫描电子显微镜非常相似。它是用聚焦的激光束代替电子束,在样品表面扫描,用光接收器件探测反射光。由于光具有衍射极限,分辨没有电于束那么高。可是,这种显微镜不需要真空,没有电荷积垒问题,价格便宜等,不仅能用于半导体器件制作,在生物学领域内也可使用。通过改变激光束的封描角度,可使显象管上显示出来的图象改变八倍。英国牛津光电子公司制作观测