硬质合金低温涂层的研究——等离子体增强化学气相沉积TiN

摘要

＜正＞ 引言众所周知,在大规模工业生产中,硬质合金TiN、Tic、Al2O3及复合涂层主要采用传统CVD工艺（＞1000℃）。基体和涂层之间易产生脆性的η相,涂层刀具的强度比未涂层的几乎下降50%。另一方面,PVD法虽能降低反应温度、涂层韧性较好,但涂层与基体间的结合强度较差。又由于绕镀不好,涂层试样需要转动,从而给操