铝和氧化铝表面的电子能量损失谱研究

摘要

用俄歇电子能谱仪测量在低的入射电子能量下二次电子弹性峰附近的损失结构,得到了电子能量损失谱。对于铝、三氧化二铝、铝表面吸附氧以及铝表面复盖薄氧化层的样品,其能量损失谱有明显的差别,主要是等离子损失峰的位置和强度的变化。纯铝的表面和体等离子损失能量为10.5eV和15.5eV,三氧化二铝的等离子损失峰位置移到12eV和21.5eV处;铝表面复盖薄氧化层时,其损失谱是铝和三氧化二铝损失谱的混合:铝表面吸附少量氧时,表面和体等离子损失峰的强度明显减弱,并出现与氧相联系的8eV损失峰。文中给出了不同入射电子能量下这些损失谱的变化,从中可以区分来自表面和体内的损失机理,同时对铝表面复盖薄氧化层的样品,提供了一个测量其氧化层厚度的方法。