真空油扩散泵及其设备泵液返流率红外光谱测定法

摘要

本文叙述了用红外光谱分析法对真空油扩散泵及其设备进行泵液返流率的测定。该方法简便、精度高。一般可测量泵液返流率达10-7毫克/厘米~2分。它还可以测定真空系统中泵液返流率空间分布状态以及返流物质和来源。