漏磁变压器的实验

摘要

＜正＞ 一、漏磁变压器的应用溅射离子泵两电极之间,电子被钛极接收,离子被钽极接收,因此,溅射离子泵高压电源在低真空时接近短路工作,在高真空时接近开路工作。用于溅射离子泵高压电源的漏磁变压器就是一种能够适应小电流、高电压及在短路时固定电流工作的特殊变压器。漏磁变压器不仅可以短路,使其输出呈陡降特性,还可以通过改变结构形式来改变陡降曲线的斜率,以使溅射离子泵获得较大抽速。