首页> 中文期刊> 《真空科学与技术学报》 >一台起动快维持久的小型无油玻璃超高真空系统

一台起动快维持久的小型无油玻璃超高真空系统

         

摘要

<正> 本实验装置的特点是起动快,维持久,不加冷剂,抽气两三个小时即可达到1.8×16-6帕的真空度。最近的实验结果,起始压力为1.33×10-4帕,经十几分钟可达7.98×10-7帕,在各种泵停止工作后,采用高真空阀逐级封闭,系统真空度维持在6.12×10-4帕以上达5个月之久。

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