ZrO2薄膜的相结构与相稳定性

摘要

采用纯 Zr、添 Y2O3的 ZrO2和添 MgO 的 ZrO2为靶材,以射频溅射方法生成 ZrO2薄膜。研究了这三个系列薄膜的物相结构,以及退火和研磨对物相结构的影响。研究表明,ZrO2薄膜为单斜相,Y-ZrO2和 Mg-ZrO2薄膜为单斜相和正方相,且以正方相为主。它们的退火规律也各不相同,这与稳定剂的加入与性质有关。同时研磨并未诱导正方相向单斜相的转变。