IBAD钼膜与Al2O3（0001）单晶界面的HREM研究

摘要

采用中等能量离子束辅助沉积（IBAD）技术在单晶Al2O3（0001）基片上沉积钼膜，通过HREM等分析手段，在原子尺度上，对于钼膜及其与Al2O3单晶基体界面的显微结构进行了研究。结果表明：钼膜的晶粒呈细小柱状或纤维状，平均晶粒尺寸约为8nm，钼膜的致密度较高，膜内存在非晶组织。在钼膜与Al2O3单晶基片之间存在厚约10～15nm的非晶过渡层，在界面处未发现原子的长程扩散。非晶过渡层与钼膜界面处存在台阶，增加了钼膜的形核点。