X射线计算机断层扫描成像系统标准器的研制

摘要

针对市面上尚没有面向产业需求的完善的工业CT标准器的问题,自主研制了测量范围广、稳定性好的用于工业CT几何量测量校准的标准器,使用超高精度三坐标测量机对其进行校准,通过球心距误差来评定尺寸测量误差,最小球心距为15.398 5 mm,最大球心距为103.869 2 mm,尺寸测量示值误差扩展不确定度为0.76μm（k=2）;最小角度为30.40°,最大角度为119.90°,角度测量示值误差扩展不确定度为20.88″（k=2）。该标准器可满足工业CT大尺寸范围内尺寸误差的校准,同时还可以用于角度偏差的校准。