高频等离子体光谱法在半导体材料分析中的应用

摘要

电感耦合高频等离子体光谱法是光谱分析的一种新技术,它具有灵敏度高、稳定性好、化学干扰少、操作方便,可同时进行多元素分析等优点.我们利用GP3.5-D1型高频等离子发生器及Q-24型摄谱仪组装成功了高频等离子光谱仪,并将它应用于半导体工艺中各种高纯材料的分析,取得了良好的效果.本文在简要叙述高频等离子体光谱法的基本原理和特点后,着重介绍仪器的组装调试方法、工作条件的选择以及达到的性能指标.将这个方法应用于水、金、四氯化硅、砷化镓、氧化硼等半导体工艺中常用的高纯材料中微量杂质的测定,灵敏度可达ppb数量级,相对标准偏差在5%以内.与一般的化学光谱法相比,取样量减少,样品处理步骤简化,操作时间缩短,空白值降低,灵敏度和准确度提高.这些实验结果表明,高频等离子体光谱法在高纯材料的分析领域中有着广阔的前景.