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吴知非; 施云城; 陈惠敏; 陈英方;
中国纺织大学;
上海200051;
南通纺织工学院;
离子注入; 薄膜; 电性能; 高聚物;
机译:在氧等离子体源离子注入中通过温度和剂量控制选择性改变铝的摩擦学性能
机译:等离子体源离子注入法制备TiO2薄膜及其性能
机译:通过HPPMS等离子体源进行等离子体浸没离子注入和沉积制备的CrN薄膜的显微照片和结构
机译:用钛离子注入改变电导率(EAP)薄膜的电活性聚合物(EAP)薄膜的力学性能
机译:氧等离子体源离子注入对镍钛形状记忆合金组织演变和力学性能的影响。
机译:CF4等离子体处理HfO2栅电介质的非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的电性能和可靠性提高
机译:等离子体浸渍离子注入改变氧化钒薄膜的性质
机译:朝向20kV,2ka等离子体源离子注入调制器的研究进展,用于在铝上汽车生产金刚石薄膜
机译:使用能提高薄膜的电性能和沉积性能可靠性的源喷射器形成原子层沉积设备的薄膜的方法
机译:用于光子学领域的多层薄膜微结构和纳米结构形成方法,涉及在抗蚀剂上的有源层上注入离子元素,以改变层的性能以获得具有受控性能的结构。
机译:具有改善的电性能的电感耦合等离子体处理的偶氮薄膜及其制造方法
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