不同原料气体直流电弧等离子体制备金刚石薄膜的比较研究

摘要

迄今,在金刚石的热力学亚稳相气相合成金刚石薄膜已有许多成熟的方法,如热丝法、微波等离子体法、射频等离子体法、直流电弧等离子体法、空心阴极法、以及氧炔焰法等。作为原料气体的碳氢化合物一般选用甲烷。