磁控溅射TiAlTaN/TaO/WS复合涂层及其钛合金的切削性能

摘要

用磁控溅射方法制备了低粘结TaO与低摩擦系数WS复合的TiAlTaN/TaO/WS复合涂层。该涂层由Ti过渡层、TiAlTaN耐磨层、TaO低粘结层和低摩擦系数WS层组成。涂层复合使表面形貌从多边形变为球形,但是不影响原涂层的相组成和柱状晶组织。复合涂层使原涂层的硬度和弹性模量降低,但是使摩擦系数从0.648降低到0.102。低摩擦系数复合涂层的润滑性能使切削钛合金的效率提高了84%,比商用涂层提高33%。