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赵广胜; 夏国明; 裘安萍; 施芹; 赵阳;
南京理工大学机械工程学院;
南京210094;
硅微谐振式加速度计(SRA); 频率读出; 专用集成电路(ASIC); 低噪声; 零均值;
机译:采用SOI方法的微加工多晶硅压阻式压力传感器和加速度计
机译:基于微机电系统(MEMS)基于电容式加速度计的麦克风,具有增强的灵敏度,可实现完全植入的助听器:一种新的分析方法
机译:使用硅微环谐振器的微波频率测量的光子方法
机译:一种新的双轴硅谐振微加速度计
机译:基于谐振微传感器和CMOS ASIC集成的化学微系统。
机译:微机械硅谐振加速度计的设计与实现
机译:一种新型压阻式加速度计,具有spB,可改善灵敏度与谐振频率之间的权衡
机译:用于硅像素读出的数据推送架构的asIC实现
机译:一种无线功率传输(WPT)系统,其工作频率自动调整,以通过使用控制部分来实现在发送和接收谐振器的配置中实现变化期间的功率谐振传递
机译:使用MEMS致动器的微谐振器的固有频率调谐装置,具有该微谐振器的微谐振器,其制造方法以及其翻转方法
机译:利用MEMS致动器通过机械限制的微谐振器的谐振频率调谐设备,具有该微谐振器的谐振器,其制造方法和调谐方法
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