微波低噪声封装器件噪声参数测量技术

摘要

相对于噪声系数,噪声参数更加全面地反映了半导体器件噪声特性。介绍了微波低噪声器件噪声参数产生机理及测量原理,分析了噪声参数测量方法。针对低噪声封装器件的特点,自制了测试夹具以及表征测试夹具的TRL校准件,优选Agilent公司带有噪声选件的矢量网络分析仪、噪声源和Maury公司的阻抗调配器组建了测量系统。选用NEC公司的NE32584C低噪声器件作为被测对象,开展了10～15 GHz频段的噪声参数测量工作。为了验证测量系统和数据准确性,设计制作了无源标准件。验证数据的一致性表明获得了可靠、令人满意的噪声参数测试结果。