中折射率镀膜材料铝酸镧的制备及性能研究

摘要

采用固相合成法制备了铝酸镧光学镀膜材料,其物相组成为LaAlO3与LaAl11O18。通过改变电子束物理气相沉积（EB-PVC）法淀积铝酸镧薄膜时的工艺条件,得出了薄膜的折射率及消光系数随淀积工艺的变化情况。在可见光范围内,膜层的折射率随工艺的不同在1.65~1.8之间变化,消光系数在10^-4数量级;光学性能优异,具有很好的应用前景。