降低CCD转移驱动电压摆幅仿真技术研究

摘要

降低CCD的转移驱动电压摆幅对于减小器件的功耗有着积极的作用。通过对CCD电荷转移过程的原理进行分析,建立了CCD转移驱动电压摆幅的仿真模型,并从势垒注入、多晶硅电极间隙、栅介质层厚度等方面进行了仿真分析,找出了影响CCD转移驱动电压摆幅的关键因素,同时利用该模型得到了降低CCD转移驱动电压摆幅的优化条件。最后采用仿真结果进行了流片验证,CCD的驱动电压摆幅由原来的7V降低到了4V,验证了仿真结果的有效性。