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余军火; 汪建华; 罗凯; 翁俊;
武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室;
高微波功率; 强场区域; 电子密度; 化学气相沉积;
机译:高微波功率对厚纳米晶金刚石膜生长和微观结构的作用:与大晶粒多晶金刚石膜的比较
机译:(001)表面的邻角对高功率微波等离子体化学气相沉积法生长的高质量同质外延金刚石膜硼掺杂特性的影响
机译:使用高微波功率和纯氮/甲烷/氢等离子体,可高速生长纳米晶金刚石膜
机译:使用高功率微波增强化学气相沉积工艺在SiO / sub 2 /表面沉积金刚石膜
机译:在高压和高功率密度下单晶微波等离子体辅助化学气相金刚石合成
机译:低功率和高功率微波辐射对红杉植物体外生长及其冷冻后恢复的影响
机译:在高功率条件下用氮/甲烷/氢等离子体生长的纳米晶金刚石膜中键合氢缺陷的研究
机译:通过微波等离子体辅助化学气相沉积在高温下高生长率同质外延金刚石膜沉积
机译:微波等离子体辅助化学气相沉积在高温下高生长速率的同质外延金刚石膜沉积
机译:微波等离子体辅助化学气相沉积法在高温下高生长速率同质金刚石膜沉积
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