有机光电器件ITO阳极表面改性及其时效性研究

摘要

采用射频氧等离子体(RFOP)处理对氧化铟锡(ITO)薄膜表面进行改性,通过原子力显微镜、X射线光电子能谱、X射线衍射仪和接触角仪等测试表征,研究了改性对ITO表面性质的影响。实验结果表明,RFOP处理优化了ITO表面的化学组分,提高了ITO表面的平整度,改善了ITO表面的物理化学性质。同时,通过接触角监测和表面能计算,研究了ITO表面RFOP改性的时效性,结果证实,ITO表面优化后的物理化学性质随存放时间增加而逐渐退化。另外,采用改性后不同存放时间的ITO衬底作为阳极,制备了有机发光器件,通过测量光电特性,进一步研究了ITO表面性质对器件性能的影响。