沉积温度对铝化物涂层相结构与微观形貌的影响

摘要

采用化学气相沉积技术在四种不同沉积温度下制备了铝化物涂层,采用X-射线衍射仪、扫描电子显微镜和能谱仪研究了不同沉积温度下涂层的相结构、微观形貌和成分.结果表明,涂层的相结构、微观形貌和成分受沉积温度的影响明显.沉积温度越高,涂层越趋于形成均质的β-NiAl相,涂层表面多边形网格状形貌越均匀,网格内晶粒生长越密实.扩散区内富集大量的铬、钼和钨元素,其相应的析出物会形成扩散障碍层.