滑模观测器在大惯量扫描镜系统中抗谐振的应用

摘要

针对扫描镜伺服控制系统中柔性连接所导致的机械谐振问题,本文提出一种结合电机加速度反馈以及负载速度反馈的滑模观测器控制方法.首先建立伺服系统柔性连接的数学模型并分析谐振对系统性能的影响;然后给出滑模观测器的设计过程;随后将观测出的电机加速度以及负载速度反馈到伺服系统中进行补偿;最后分析了位置传感器对伺服系统控制性能的影响,系统的鲁棒性,并与相似被控条件下的其他控制方法进行了比较.仿真结果表明:与未采用观测器时相比,本文所提出的方法有效地抑制了基于柔性连接的伺服系统中的机械谐振问题,提高了系统的控制性能,且具有较高的鲁棒性.