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一种LTPS面板厂建厂设计提案构想介绍

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摘要

从工艺需求、成本、工期与污染控制的角度出发,检视目前面板厂建厂的设计概念后,提出另外一种LTPS建厂设计的提案构想,以为业界参考.

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来源
《洁净与空调技术》 |2014年第3期|42-45|共4页
作者
杨政谕;
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作者单位

亚翔系统集成科技(苏州)股份有限公司;

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正文语种 chi
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关键词
面板厂; 低温多晶硅(LTPS); 建厂; 设计提案构想;

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