集成电路综合自动测试系统硬件平台设计

摘要

针对当前国内集成电路产业快速发展的现状,通过分析集成电路测试需求,研制了国产超大规模集成电路综合自动测试系统硬件平台;首先设计了基于PXIe总线的硬件平台总体架构方案,其次研制了包含数字测试模块等高性能PXIe测试仪器,进一步构建了测试头等分系统并完成系统集成;采用高性能外部仪器和自检校准分系统,对硬件平台进行了指标测试;基于BM3110MPB开展了测试验证;验证结果表明,硬件平台数字测试单通道最高测试速率为1600 Mbps、DPS可实现最大输出电压12 V、最大输出电流800 mA,具备连接性测试、功能测试、直流参数与交流参数测试等功能;该硬件平台未来可有效满足国产超大规模集成电路测试需要。