硅片图形电铸镍工艺研究

摘要

电铸能制造某些难以用机械加工方法制造的特殊形状的微型结构,对于硅片图形电铸镍工艺只需设计合理的电铸图形,即可实现零件的精密成型制造.在对硅片图形电铸镍工艺和设备结构研究的基础上,提出了电铸液组分、工铸条件、电铸夹具以及电铸槽结构等设计要求,以满足电铸镍层的均匀性要求.通过实验对电铸镍层的均匀性进行了验证,符合了硅片图形电铸镍工艺要求的技术指标.