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氢化铝钠反应器的化学清洗

         

摘要

介绍了新硅烷法制造多晶硅的中间产物氢化铝钠的物理化学性质,并根据物料性质和设备结构,通过实验,确定了使用两台泵站同时运行的循环清洗工艺.

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