TFT阵列工艺中显影液控制系统原理及优化控制方法

摘要

本文详细介绍了TFT阵列光刻工艺中关于四甲基氢氧化铵TMAH显影液浓度控制系统,并从系统设计原理出发讨论显影液的浓度控制优化方式,显影液用量控制方式,溶解在显影液内的光刻胶浓度控制方式的实际应用。