镀膜技术及设备

摘要

O484.1 96021250 人工金刚石薄膜生长过程中有关反应活性的研究=Investigation of the reaction activity in thegrowth of synthetic diamond films[刊,中]/潘必才,夏上达,方容川(中国科技大学物理系。安徽,合肥(230026))∥物理学报。—1995,44(5)。—763—771 用原子簇团模拟人工金刚石膜生长过程中的一些生长核,采用从头自洽的DV—X。