光电子技术与器件 光电成像与器件

摘要

TN386．5 2005042916 CCD制造的关键工艺=Key technology of CCD manufac- turing process[刊,中]／武利翻(重庆邮电学院．重庆 (400065))／／光电技术应用,-2005,20(1),-38-42 CCD(电荷耦合器件)是一种在硅集成电路工艺线上制作的图像传感器。介绍了CCD的基本工作原理和制造的单项工艺,并详细介绍了其关键工艺:氧化、光刻、离子注入,还对各工艺所遇到的问题、相应的解决方法及发展状况进行了阐述。图4参14(严寒)