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微型真空力敏器件的研究

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本文首次用电荷模拟法计算了真空微电子力敏传感器的场致发射阴极与阳极间的电场分布,同时计算了晶向的方形硅薄膜受压形变与压力的关系,进而得出了这种传感器的电流-压力曲线.还做了水槽模拟电场分布的实验,理论与实验符合的很好.

著录项

来源
《传感技术学报》|1994年第4期|6-12|共7页
作者
朱长纯; 王海笑;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类压力仪表;
关键词
微型; 真空力敏器件; 压力传感器;

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