用于差动电容传感器的高分辨率电路的研究

摘要

本文提出了一种用于差动电容传感器的电路,采用弱信号检测技术,将被测微小电容变化量转换成直流电压信号.输出电压与差动电容变化量成线性关系,经过单片机处理后能自动补偿偏差电容和电路的漂移.实验表明,最小被测电容变化量可达8 fF,灵敏度可达3.82×10+{11}V/F.实验结果和理论分析具有良好的一致性.