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一种基于温差测量原理工作的集成型流量传感器

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摘要

在比较已有的几种低流速流体的流速流量测量方法基础上,提出一种利用与流速相关温差的测量方案,并用芯片集成方法构成流量传感器加以验证,实验结果与理论预期基本相符.该传感器的主要优点是在低流量条件下具有高灵敏度.

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来源
《传感技术学报》 |2004年第1期|101-105|共5页
作者
吴晓波; 赵梦恋; 严晓浪;
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作者单位

浙江大学超大规模集成电路设计研究所,杭州,310027;

浙江大学超大规模集成电路设计研究所,杭州,310027;

浙江大学超大规模集成电路设计研究所,杭州,310027;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体混合集成电路;
关键词
低速流体; 流量传感器; 集成电路; 温度差;

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